質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
| 分子式:HF 分子量:20.01 | |||
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 單位 | 規(guī)格值 | 
| 1 | 氫氟酸 (HF) | wt% | ≥99.999 | 
| 2 | 氯化物(Cl) | ppb | ≤100 | 
| 3 | 硝酸鹽 (NO3) | ppb | ≤100 | 
| 4 | 磷酸鹽(PO4) | ppb | ≤100 | 
| 5 | 硫酸鹽(SO4) | ppb | ≤100 | 
| 6 | 硅(Si) | ppb | ≤100 | 
| 7 | 鐵(Fe) | ppb | ≤50 | 
| 8 | 鎳(Ni) | ppb | ≤50 | 
| 9 | 鉻(Cr) | ppb | ≤50 | 
| 10 | 銅(Cu) | ppb | ≤50 | 
| 11 | 鈉(Na) | ppb | ≤50 | 
| 12 | 鈣(Ca) | ppb | ≤50 | 
性狀: 
無(wú)色透明液體,在空氣中冒白煙,有強(qiáng)烈刺激性氣味,劇毒,并有強(qiáng)烈的腐蝕性,沸點(diǎn)19.5℃。
用途: 
半導(dǎo)體蝕刻。
貯存: 
貯存在帶棚的庫(kù)房中。嚴(yán)禁暴曬,嚴(yán)禁與易爆物品混放。
運(yùn)輸: 
按一級(jí)無(wú)機(jī)酸性腐蝕物品對(duì)待。
包裝: 
用中壓高純鋼瓶包裝,每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。
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